标题：
薄膜沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
CN101997091A
申请日：
2010-08-24
公开(公告)日：
2011-03-30
当前申请(专利权)人：
三星显示有限公司
发明人：
金钟宪 | 朴铉淑 | 柳在光 | 康熙哲 | 吴枝淑
简单同族：
CN101997091A | CN101997091B | KR101127578B1 | KR1020110020517A | US20110042659A1 | US8921831
简单同族成员数量：
6
简单同族被引用专利总数：
42
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移