标题:
포토레지스트의 잔사불량이 방지된 반도체 도핑방법 및이를 이용한 액정표시소자 제조방법
授权日:
1900-01-01
公开(公告)号:
KR1020030040706A
申请日:
2001-11-15
公开(公告)日:
2003-05-23
当前申请(专利权)人:
엘지디스플레이 주식회사
发明人:
황의훈 | 김기종
简单同族:
KR100492727B1 | KR1020030040706A | US20030092224A1 | US6699738
简单同族成员数量:
4
简单同族被引用专利总数:
24
诉讼案件数:
0
法律状态/事件:
授权