标题

预塌陷的电容微机械超声传感器的制造及其应用

授权日

2013-06-05

公开（公告）号

CN101969856B

申请日

2008-09-17

公开（公告）日

2013-06-05

当前申请（专利权）人

皇家飞利浦电子股份有限公司

发明人

P·迪克森 | A·范德卢格特

简单同族

CN101969856A | CN101969856B | EP2207484A2 | EP2207484B1 | US20100207485A1 | US8327521 | WO2009037655A2 | WO2009037655A3

简单同族成员数量

8

简单同族被引用专利总数

128

诉讼案件数

0

法律状态/事件

授权