高灵敏度的电容性显微机械加工的超声波传感器

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高灵敏度的电容性显微机械加工的超声波传感器
授权日

1900-01-01
公开（公告）号

CN1714754A
申请日

2005-06-30
公开（公告）日

2006-01-04
当前申请（专利权）人

通用电气公司
发明人

田维诚 | 李华伦 | L・S・史密斯 | 李业铭 | 孙阶
简单同族

CN1714754A | FR2881913A1 | JP2006020313A | JP5113994B2 | US20060004289A1
简单同族成员数量

5
简单同族被引用专利总数

158
诉讼案件数

0
法律状态/事件

实质审查 | 复审