标题

Pressure sensor, differential pressure sensor, and mass flow rate control device using same

授权日

2019-01-08

公开（公告）号

US10175132

申请日

2015-10-06

公开（公告）日

2019-01-08

当前申请（专利权）人

HITACHI METALS, LTD.

发明人

SUZUKI, KENGO | SAKAGUCHI, ISAO | UMEYAMA, TAKAHIRO

简单同族

CN107110727A | CN107110727B | JP6237923B2 | JPWO2016056555A1 | KR101959150B1 | KR1020170053678A | US10175132 | US20170299456A1 | WO2016056555A1

简单同族成员数量

9

简单同族被引用专利总数

5

诉讼案件数

0

法律状态/事件

授权 | 权利转移