标题

Micro electro mechanical system, semiconductor device, and manufacturing method thereof

授权日

2017-03-21

公开（公告）号

US9597933

申请日

2015-06-04

公开（公告）日

2017-03-21

当前申请（专利权）人

SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.

发明人

YAMAGUCHI, MAYUMI | IZUMI, KONAMI | TATEISHI, FUMINORI

简单同族

CN101024481A | CN101024481B | US10035388 | US20070152537A1 | US20090230815A1 | US20140370639A1 | US20150343857A1 | US20170182853A1 | US7528529 | US8822251 | US9054227 | US9597933

简单同族成员数量

12

简单同族被引用专利总数

34

诉讼案件数

0

法律状态/事件

授权 | 权利转移