一种基于干法刻蚀的悬挂式微器件结构转移方法

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一种基于干法刻蚀的悬挂式微器件结构转移方法
授权日

1900-01-01
公开（公告）号

CN107946414A
申请日

2017-10-29
公开（公告）日

2018-04-20
当前申请（专利权）人

广东省半导体产业技术研究院
发明人

潘章旭 | 龚政 | 陈志涛 | 刘久澄 | 刘晓燕 | 任远 | 曾昭烩 | 李叶林
简单同族

CN107946414A | CN107946414B
简单同族成员数量

2
简单同族被引用专利总数

3
诉讼案件数

0
法律状态/事件

授权