성막 장치, 제조 시스템, 유기 EL 패널의 제조 시스템

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성막 장치, 제조 시스템, 유기 EL 패널의 제조 시스템
授权日

1900-01-01
公开（公告）号

KR1020200052810A
申请日

2019-05-10
公开（公告）日

2020-05-15
当前申请（专利权）人

캐논 톡키 가부시키가이샤
发明人

히메지 토시아키
简单同族

CN111155054A | JP2020076123A | KR1020200052810A
简单同族成员数量

3
简单同族被引用专利总数

0
诉讼案件数

0
法律状态/事件

实质审查