성막장치, 유기 EL 패널의 제조 시스템, 및 성막방법

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성막장치, 유기 EL 패널의 제조 시스템, 및 성막방법
授权日

1900-01-01
公开（公告）号

KR1020200073123A
申请日

2019-11-21
公开（公告）日

2020-06-23
当前申请（专利权）人

캐논 톡키 가부시키가이샤
发明人

미야자키 케이스케
简单同族

CN111321370A | JP2020094244A | KR1020200073123A
简单同族成员数量

3
简单同族被引用专利总数

0
诉讼案件数

0
法律状态/事件

实质审查