성막장치, 성막방법 및 이를 사용한 유기 EL 표시 장치의 제조방법

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성막장치, 성막방법 및 이를 사용한 유기 EL 표시 장치의 제조방법
授权日

2019-01-24
公开（公告）号

KR101944197B1
申请日

2017-11-29
公开（公告）日

2019-01-30
当前申请（专利权）人

캐논 톡키 가부시키가이샤
发明人

카시쿠라 카즈히토 | 이시이 히로시
简单同族

CN109837519A | JP2019102802A | JP6703079B2 | KR101944197B1
简单同族成员数量

4
简单同族被引用专利总数

0
诉讼案件数

0
法律状态/事件

授权