기판 재치 방법, 성막 방법, 성막 장치, 유기 EL 패널의 제조 시스템

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기판 재치 방법, 성막 방법, 성막 장치, 유기 EL 패널의 제조 시스템
授权日

1900-01-01
公开（公告）号

KR1020200074002A
申请日

2019-12-04
公开（公告）日

2020-06-24
当前申请（专利权）人

캐논 톡키 가부시키가이샤
发明人

타카츠 카즈마사
简单同族

CN111321385A | JP2020094264A | KR1020200074002A
简单同族成员数量

3
简单同族被引用专利总数

0
诉讼案件数

0
法律状态/事件

实质审查