발명의 명칭 기판 손상을 줄일 수 있는 스퍼터링 장치 및 이에 사용되는 광학차폐수단

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발명의 명칭 기판 손상을 줄일 수 있는 스퍼터링 장치 및 이에 사용되는 광학차폐수단
授权日

1900-01-01
公开（公告）号

KR1020160123785A
申请日

2015-04-17
公开（公告）日

2016-10-26
当前申请（专利权）人

(주)에스엔텍
发明人

백주열 | 김부경 | 최상대 | 박성기 | 안경준
简单同族

KR101674547B1 | KR1020160123785A
简单同族成员数量

2
简单同族被引用专利总数

0
诉讼案件数

0
法律状态/事件

授权