증착률 모니터링 장치, 이를 구비하는 유기층 증착 장치, 증착률 모니터링 방법, 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법

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증착률 모니터링 장치, 이를 구비하는 유기층 증착 장치, 증착률 모니터링 방법, 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
授权日

2020-04-29
公开（公告）号

KR102108361B1
申请日

2013-06-24
公开（公告）日

2020-05-11
当前申请（专利权）人

삼성디스플레이 주식회사
发明人

보로노프 알렉산더 | 마슬로프 드미트리 | 한규완
简单同族

KR1020150000356A | KR102108361B1 | US20140377890A1 | US9347886
简单同族成员数量

4
简单同族被引用专利总数

2
诉讼案件数

0
法律状态/事件

授权