레이저와 리모트 플라스마를 이용한 이엘디 세정 방법

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레이저와 리모트 플라스마를 이용한 이엘디 세정 방법
授权日

1900-01-01
公开（公告）号

KR1020020000204A
申请日

2000-06-23
公开（公告）日

2002-01-05
当前申请（专利权）人

최승락
发明人

CHOI, SEUNG RAK
简单同族

KR1020020000204A
简单同族成员数量

1
简单同族被引用专利总数

2
诉讼案件数

0
法律状态/事件

撤回