대향 타겟식 스퍼터링 장치 및 이를 이용한 유기 전계발광 표시 장치의 제조 방법

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대향 타겟식 스퍼터링 장치 및 이를 이용한 유기 전계발광 표시 장치의 제조 방법
授权日

1900-01-01
公开（公告）号

KR1020060057255A
申请日

2004-11-23
公开（公告）日

2006-05-26
当前申请（专利权）人

삼성에스디아이 주식회사
发明人

김한기 | 이규성
简单同族

KR100670464B1 | KR1020060057255A
简单同族成员数量

2
简单同族被引用专利总数

0
诉讼案件数

0
法律状态/事件

授权 | 权利转移