标题

Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using thin film deposition apparatus

授权日

1900-01-01

公开（公告）号

US20110143473A1

申请日

2010-12-08

公开（公告）日

2011-06-16

当前申请（专利权）人

SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.

发明人

JI, CHANG-SOON | KIM, TAE-SEUNG | LEE, JONG-WOO | AN, CHENGGUO

简单同族

CN102148234A | CN102148234B | JP2011127218A | JP5557653B2 | KR101156433B1 | KR1020110068179A | TW201127970A | TWI560288B | US20110143473A1 | US20120186517A1 | US8173481 | US8482422

简单同族成员数量

12

简单同族被引用专利总数

19

诉讼案件数

0

法律状态/事件

授权 | 权利转移