塗布装置、塗布方法および有機ELディスプレイ

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塗布装置、塗布方法および有機ELディスプレイ
授权日

1900-01-01
公开（公告）号

JP2019194960A
申请日

2018-05-02
公开（公告）日

2019-11-07
当前申请（专利权）人

東京エレクトロン株式会社
发明人

篠木武虎 | 林輝幸 | 大島澄美
简单同族

CN110444696A | JP2019194960A | KR1020190126715A | TW202004949A
简单同族成员数量

4
简单同族被引用专利总数

0
诉讼案件数

0
法律状态/事件

公开